Dry Etch와 Wet Etch의 차이점과 각각의 장단점, 어떤 상황에서 어떤 방식을 선택하는지 설명해주세요.

솔직히 공정 세부 조건까지 정밀하게 안다고 하긴 어렵습니다. 그래서 외운 스펙을 늘어놓기보다, 제가 이해한 핵심 거래만 짚고 싶습니다. 두 방식을 가르는 핵심은, 건식은 옆으로 안 번져 미세 패턴에 유리하지만 비싸고 느리고, 습식은 사방으로 깎여 미세함엔 불리하지만 싸고 빠르다는 것입니다. 즉 정밀도와 비용·속도가 한쪽을 얻으면 한쪽을 내주는 거래 관계입니다. 그래서 선택은 어느 쪽이 늘 옳다가 아니라, 그 단계에서 무엇을 더 못 양보하느냐로 정해진다고 이해합니다. 더 깊은 화학 반응이나 조건별 수치는 제가 단정할 자리가 아니라고 봅니다. 다만 두 방식이 거래 관계이고, 단계의 우선순위가 선택을 가른다는 정도는 분명히 짚을 수 있습니다. 한 방식이 우월하다고 외우기보다, 무엇을 내주는 거래인지 아는 게 더 맞다고 생각합니다. 핵심은, 아는 경계를 두되 정밀도와 비용·속도의 거래 관계를 짚는다는 점입니다.