Yield 향상을 위해 어떤 방법을 사용해본 경험이 있나요?

수율 향상에서 제가 의식하는 건, 결함을 한 덩어리로 보지 않고 Systematic 손실과 Random 결함으로 나눠 접근하는 일입니다. 공정 인자에 의한 재현 가능한 손실과 입자·오염 같은 확률적 손실은 원인도 대책도 달라, 섞어서 보면 엉뚱한 처방이 나오기 때문입니다. 그래서 저는 품질 실습에서 수율 데이터를 볼 때, 재현되는 패턴성 손실은 실험계획법으로 공정 파라미터 최적 구간을 찾고, 흩어진 random 결함은 인라인 검사와 결함 파레토로 오염원을 추적하는 식으로 갈라 봅니다. 측정으로는 어느 층위 손실이 수율의 몇 %인지를 먼저 수치화합니다. 다만 본인 손과 한계를 짚습니다. 저는 실습 데이터 분석 수준이라, 실제 라인에서 실험계획법을 설계해 돌리거나 결함 파레토로 오염원을 끝까지 추적해 본 경험은 없습니다. 또 공정 능력 지수와 수율을 연계해 병목 공정을 식별하는 시니어 수준의 분석도 다뤄 보지 못했습니다. 그래서 손실을 층위로 분리하는 시각을 토대로, 그 수율 역량을 더 키우려 합니다.