도구 결함이 발생했을 때, 부분적으로 처리된 웨이퍼에 대한 수정 레시피를 어떻게 작성할 건가요?

장비 결함으로 일부만 처리된 웨이퍼의 수정 레시피를, 저는 바로 제품에 적용하지 않고 더미 웨이퍼로 검증한 뒤 적용하는 통제를 원칙으로 봅니다. 잔여 공정 보상량을 잘못 잡으면 오버에칭이나 과증착으로 제품 웨이퍼를 통째로 잃을 수 있어, 리스크가 크면 희생 웨이퍼로 먼저 확인하는 게 안전하기 때문입니다. 그래서 저는 이전 처리 단계의 파라미터 이력과 타겟 스펙 편차를 먼저 정량화해 보상량을 계산하고, 그 값이 공정 윈도우 안에서 위험이 큰지를 따져 큰 경우엔 더미 웨이퍼로 검증합니다. 변경한 파라미터와 그 이유는 문서로 남겨 재현성을 확보합니다. 동료 검토와 이중 확인도 거칩니다. 다만 본인 사례와 한계를 짚습니다. 저는 공정 엔지니어링 수업으로 원칙을 배운 수준이라, 실제로 이력 데이터와 실험계획법을 결합해 최적 보정값을 도출하거나 수정 레시피를 라인에 적용해 본 경험은 없습니다. 그래서 더미 웨이퍼 검증 통제를 토대로, 그 레시피 설계 역량을 더 키우려 합니다.