포토리소그래피 CD 산포 원인을 공정 로그 분석으로 장비 간 교정 오차에서 찾아 개선한 경험
공정 개선 사례는 인턴 중 포토리소그래피 공정의 CD 산포가 목표 범위를 벗어나는 문제를 분석한 과제였습니다. 먼저 공정 로그에서 CD 산포가 커진 시점을 찾아 그 전후로 변경된 공정 파라미터가 있는지 확인했습니다. 노광 에너지와 포커스 오프셋 데이터를 시간 순으로 정렬하면서, 특정 노광기 사용 비율이 높아진 구간에서 편차가 증가하는 패턴을 발견했습니다.
장비 간 노광 에너지 교정 오차가 원인으로 확인됐고, 교정 주기를 단축하는 것으로 산포가 줄었습니다. 개선 전후 산포 수치를 비교해 개선 효과를 수치화했고, 이 방식으로 보고하면 팀 내에서 개선 내용을 공유하기 쉽다는 것을 배웠습니다. 공정 개선이 데이터 분석에서 시작해 수치로 닫혀야 한다는 것을 이 경험에서 실감했습니다.